เครื่องทำความร้อนแบบกราไฟต์ปรับปรุงความแม่นยำของกระบวนการผลิตได้จริงไหม?

ผลกระทบของสมรรถนะเครื่องทำความร้อนกราไฟต์ต่อความแม่นยำในการผลิต

ในสภาพแวดล้อมอุตสาหกรรมที่มีอุณหภูมิสูง การควบคุมความแม่นยำของกระบวนการผลิตมักขึ้นอยู่กับความเสถียรทางความร้อนขององค์ประกอบให้ความร้อนที่ใช้ในระบบ เครื่องทำความร้อนแบบกราไฟต์ทำหน้าที่เป็นส่วนประกอบสำคัญในหลายภาคส่วน ตั้งแต่การผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ไปจนถึงอุตสาหกรรมโลหะขั้นสูง โดยการเปลี่ยนแปลงเล็กน้อยของพลังงานความร้อนอาจนำไปสู่ข้อบกพร่องของผลิตภัณฑ์ได้อย่างมาก สาเหตุหลักที่วิศวกรเลือกใช้กราไฟต์คือคุณสมบัติทางกายภาพเฉพาะตัวของวัสดุชนิดนี้ ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมได้ในระดับที่องค์ประกอบให้ความร้อนแบบโลหะทั่วไปมักทำได้ยาก ด้วยการจัดหาแหล่งความร้อนที่สม่ำเสมอและคาดการณ์ได้ ส่วนประกอบเหล่านี้จึงช่วยให้มั่นใจได้ว่าการเปลี่ยนแปลงทางเคมีหรือฟิสิกส์ที่เกิดขึ้นภายในเตาเผาหรือเครื่องปฏิกรณ์จะดำเนินไปภายใต้พารามิเตอร์ที่กำหนดไว้อย่างเข้มงวด ความสม่ำเสมอนี้เป็นพื้นฐานของการผลิตที่ให้ผลผลิตสูง ทำให้การเลือกเทคโนโลยีการให้ความร้อนกลายเป็นปัจจัยสำคัญต่อความสำเร็จในการดำเนินงานโดยรวม

ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ และประสิทธิภาพการกระจายความร้อน

เกรเดียนต์ความร้อนเป็นศัตรูของความแม่นยำ หากด้านหนึ่งของเวเฟอร์หรือแม่พิมพ์มีอุณหภูมิสูงกว่าอีกด้านอย่างมาก แรงเครียดภายในที่เกิดขึ้นอาจทำให้คุณภาพของผลิตภัณฑ์สุดท้ายลดลง การใช้ฮีตเตอร์กราไฟต์ช่วยให้การกระจายพลังงานความร้อนแบบเรเดียนต์ในโซนให้ความร้อนมีความสม่ำเสมอมากขึ้น เนื่องจากกราไฟต์สามารถนำมาขึ้นรูปเป็นเรขาคณิตที่ซับซ้อนได้อย่างแม่นยำสูง องค์ประกอบให้ความร้อนจึงสามารถออกแบบเฉพาะเพื่อชดเชยการสูญเสียความร้อนบริเวณขอบของห้องปฏิกรณ์ ทำให้เกิดโปรไฟล์ความร้อนที่ "เรียบ" ซึ่งจำเป็นต่อกระบวนการที่ละเอียดอ่อน

การปล่อยพลังงานความร้อนสูงและความสามารถในการแผ่รังสี

ประสิทธิภาพของเครื่องทำความร้อนแบบกราไฟต์ขึ้นอยู่กับการปล่อยพลังงานความร้อนได้สูง ซึ่งเป็นค่าที่บ่งบอกถึงความสามารถในการแผ่รังสีความร้อนของพื้นผิวอย่างมีประสิทธิภาพ ต่างจากเครื่องทำความร้อนแบบโลหะที่อาจสะท้อนพลังงานบางส่วนกลับไปยังตัวเอง หรือเปลี่ยนลักษณะพื้นผิวไปตามกาลเวลาเนื่องจากการเกิดออกซิเดชัน กราไฟต์จะรักษาระดับการปล่อยพลังงานความร้อนได้สูงอย่างสม่ำเสมอ ซึ่งหมายความว่าสำหรับพลังงานขาเข้าที่กำหนด เครื่องทำความร้อนแบบกราไฟต์จะส่งความร้อนไปยังชิ้นงานในปริมาณที่คาดการณ์ได้มากกว่า ความคาดการณ์ได้นี้ทำให้วิศวกรกระบวนการสามารถปรับคาลิเบรตระบบได้อย่างมั่นใจมากขึ้น โดยรู้ว่าผลผลิตพลังงานจะไม่แปรปรวนระหว่างรอบการผลิต นอกจากนี้ ความเร็วในการตอบสนองที่รวดเร็วของกราไฟต์ยังช่วยให้ควบคุมวงจรปิดได้อย่างแม่นยำยิ่งขึ้น ทำให้ระบบสามารถปรับตัวต่อการเบี่ยงเบนของอุณหภูมิเพียงเล็กน้อยได้เกือบจะทันที

ความมั่นคงทางเรขาคณิตและความต้านทานต่อการเสียรูป

หนึ่งในสาเหตุที่พบบ่อยที่สุดของความคลาดเคลื่อนกระบวนการในงานที่ใช้อุณหภูมิสูง คือ การหย่อนหรือบิดเบี้ยวทางกายภาพขององค์ประกอบให้ความร้อน โลหะผสมมักประสบกับปรากฏการณ์ "ครีพ" (creep) เมื่ออยู่ในอุณหภูมิสูงมาก ซึ่งจะทำให้ระยะห่างจากชิ้นงานเปลี่ยนไป และส่งผลให้ความเข้มข้นของความร้อนเปลี่ยนแปลงตามไปด้วย ในทางตรงกันข้าม ฮีตเตอร์กราไฟท์ เป็นที่รู้จักกันดีในด้านเสถียรภาพของขนาดที่ยอดเยี่ยม กราไฟต์จะแข็งแรงขึ้นเมื่อถูกให้ความร้อน จนถึงจุดหนึ่ง และไม่เกิดการสึกหรอทางกลแบบเดียวกับโลหะทนไฟ ความสมบูรณ์ทางโครงสร้างนี้ทำให้มั่นใจได้ว่าเรขาคณิตของการให้ความร้อนจะคงที่เหมือนเดิมตั้งแต่ชั่วโมงแรกของการใช้งานจนถึงชั่วโมงที่พัน จึงช่วยกำจัดปัจจัยหนึ่งที่สร้างความยุ่งยากในการควบคุมกระบวนการ เมื่อระยะห่างระหว่างแหล่งความร้อนกับเป้าหมายคงที่ ความแม่นยำของกระบวนการก็จะถูกรักษามาโดยธรรมชาติ

ความบริสุทธิ์และการควบคุมการปนเปื้อนในสภาพแวดล้อมที่ไวต่อการเปลี่ยนแปลง

ในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น การผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์หรือการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ ความแม่นยำของกระบวนการไม่ได้ขึ้นอยู่กับเพียงแค่อุณหภูมิเท่านั้น แต่ยังรวมถึงความบริสุทธิ์ของสารเคมีด้วย การที่องค์ประกอบให้ความร้อนปล่อยก๊าซหรืออนุภาคออกมา อาจทำให้เกิดสิ่งเจือปนในโครงตาข่ายซิลิคอน ส่งผลให้ทั้งแบตช์นั้นใช้งานไม่ได้ เครื่องทำความร้อนจากกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์สูงมักจะได้รับการเคลือบด้วยสารพิเศษ เช่น ซิลิคอนคาร์ไบด์ เพื่อให้มั่นใจว่าสภาพแวดล้อมในการให้ความร้อนจะคงความสะอาดอยู่เสมอ ระดับความสะอาดนี้เป็นสิ่งจำเป็นพื้นฐานสำหรับการบรรลุความแม่นยำในระดับนาโนเมตร ซึ่งต้องใช้ในอิเล็กทรอนิกส์สมัยใหม่

ความเฉื่อยทางเคมีและการเข้ากันได้ของวัสดุ

ลักษณะทางเคมีของกราไฟต์ทำให้มันเป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับใช้ในสภาวะสุญญากาศและบรรยากาศก๊าซเฉื่อย กราไฟต์ฮีตเตอร์ไม่ทำปฏิกิริยากับก๊าซกระบวนการส่วนใหญ่ ซึ่งช่วยป้องกันการเกิดผลพลอยได้ที่ระเหยได้ ที่อาจรบกวนความแม่นยำของกระบวนการเคลือบด้วยไอสารเคมี ในเตาเผาสุญญากาศ ที่การถ่ายเทความร้อนขึ้นอยู่กับการแผ่รังสีเกือบทั้งหมดเนื่องจากขาดบรรยากาศ ความเสถียรของพื้นผิวกราไฟต์จึงมีความสำคัญอย่างยิ่ง เนื่องจากวัสดุนี้ไม่เกิดการแตกร้าวหรือลอกออกเหมือนโลหะหลายชนิด ความเสี่ยงจากการเกิด "จุดร้อน" อันเนื่องมาจากการเสื่อมสภาพของพื้นผิวจึงแทบไม่มีอยู่เลย ความเสถียรทางเคมีนี้ช่วยให้เกิดสิ่งแวดล้อมที่สะอาดและสามารถทำซ้ำผลลัพธ์ได้ โดยตัวแปรเดียวที่มีผลจะเป็นเพียงสิ่งที่ผู้ปฏิบัติงานตั้งใจใส่เข้าไป

โซลูชันกราไฟต์บริสุทธิ์ขั้นสูง

กระบวนการผลิตฮีตเตอร์กราไฟต์อาจรวมถึงขั้นตอนการกลั่นอย่างเข้มงวด เพื่อลดปริมาณสารตกค้างให้อยู่ต่ำกว่า 5 ส่วนในล้านส่วน วัสดุที่บริสุทธิ์สูงนี้ทำให้มั่นใจได้ว่าจะไม่มีธาตุเจือปน เช่น โบรอน หรือ ฟอสฟอรัส ซึ่งอาจแพร่เข้าไปในห้องปฏิกิริยาได้ โดยการควบคุมคุณภาพของวัตถุดิบอย่างเข้มงวด ผู้ผลิตจึงสามารถจัดหาฮีตเตอร์ที่ทำหน้าที่เป็นส่วนประกอบกลางๆ ในการดำเนินการทางความร้อน สำหรับผู้ใช้งานปลายทาง หมายความถึงอัตราความสำเร็จที่สูงขึ้นในกระบวนการโดพปิ้งที่ละเอียดอ่อน หรือการเจริญเติบโตของผลึก เมื่อเทียบกับวัสดุทางเลือกอื่นๆ ที่อาจมีต้นทุนเริ่มต้นต่ำกว่าแต่เสี่ยงต่อการปนเปื้อน กราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์สูงสนับสนุนปรัชญา "ทำซ้ำได้แม่นยำ" ที่จำเป็นในอุตสาหกรรมการผลิตขั้นสูง ซึ่งทุกครั้งที่ดำเนินการต้องเหมือนกันทุกประการกับรอบก่อนหน้า

ความน่าเชื่อถือในระยะยาวและความสม่ำเสมอในการดำเนินงาน

ความแม่นยำของกระบวนการโดยรวมมักจะถูกวัดตลอดอายุการใช้งานของเครื่องจักร ไม่ใช่เพียงแค่การดำเนินการครั้งเดียว หากองค์ประกอบการให้ความร้อนเสื่อมสภาพอย่างรวดเร็ว ระบบควบคุมจะต้องปรับตัวอยู่เสมอเพื่อรับมือกับค่าความต้านทานและการส่งออกความร้อนที่เปลี่ยนแปลงไป เครื่องทำความร้อนแบบกราไฟต์ให้ลักษณะค่าความต้านทานไฟฟ้าที่คงที่อย่างโดดเด่นตลอดอายุการใช้งาน ความเสถียรนี้ช่วยลดความซับซ้อนของข้อกำหนดสำหรับแหล่งจ่ายไฟและซอฟต์แวร์ควบคุม เนื่องไม่จำเป็นต้องใช้อัลกอริธึมชดเชยที่ซับซ้อนเพื่อคำนึงถึงการเสื่อมสภาพของเครื่องทำความร้อน

ความเสถียรของค่าความต้านทานและสมรรถนะทางไฟฟ้า

ความต้านทานไฟฟ้าของเครื่องทำความร้อนแบบกราไฟต์ยังคงค่อนข้างคงที่ตลอดอายุการใช้งาน โดยเฉพาะเมื่อเปรียบเทียบกับวัสดุอื่นเช่น โมลิบดีนัมดิไซลิไซด์ หรือซิลิคอนคาร์ไบด์ ซึ่งอาจมีการเปลี่ยนแปลงความต้านทานอย่างมีนัยสำคัญเมื่่อายใช้งานเพิ่มขึ้น ความคงที่นี้มีความสำคัญเพื่อรักษาระดับความแม่นยำของความหนาแน่นพลังงานทั่วทั้งโซนทำความร้อน เมื่อความต้านทานคงที่ ระบบควบคุมสามารถจ่ายพลังงานด้วยความละเอียดที่สูงขึ้น ส่งผลให้ช่วงอุณหภูมิที่ยอมรับแคบขึ้น สำอุปกรณ์ที่ดำเนินการ 24/7 สิ่งนี้หมายความว่าจะมีการหยุดงานเพื่อปรับเทียบเครื่องมือน้อยขึ้น และความเสี่ยงที่ต่ำกว่าอย่างมีนัยสำคัญต่อ "การเลื่อนอุณหภูมิ" ที่อาจทำให้กระบวนการค่อยๆ เคลื่อนออกนอกช่วงที่กำหนด

ความทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรุนแรง

การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างต่อเนื่องเป็นหนึ่งในเงื่อนไขที่เข้มงวดที่สุดสำหรับชิ้นส่วนอุตสาหกรรมทุกประเภท ความสามารถของเครื่องทำความร้อนแบบกราไฟต์ในการทนต่อกระบวนการให้ความร้อนและทำให้เย็นซ้ำๆ โดยไม่เกิดการแตกร้าวหรือเสียรูปทรงโครงสร้าง ถือเป็นข้อได้เปรียบสำคัญสำหรับการประยุกต์ใช้งานในกระบวนการผลิตแบบแบตช์ สัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนที่ต่ำของกราไฟต์ ช่วยลดแรงดึงภายในที่มักทำให้วัสดุเสียหายในองค์ประกอบการทำความร้อนชนิดอื่น ความทนทานนี้ทำให้มั่นใจได้ว่าการจัดเรียงตัวทางกายภาพของเครื่องทำความร้อนภายในเตาเผาจะคงความแม่นยำสมบูรณ์ตลอดหลายร้อยรอบการทำงาน เมื่ออุปกรณ์ทำงานได้อย่างเชื่อถือได้ กระบวนการผลิตก็จะแม่นยำ ลดความเป็นไปได้ของการบำรุงรักษาที่ไม่คาดคิด ซึ่งอาจทำให้กำหนดการผลิต และกระบวนการที่ต้องการความแม่นยำ สับสนวุ่นวายได้

เพิ่มผลผลิตด้วยการจัดการความร้อนขั้นสูง

ในท้ายที่สุด การตัดสินใจติดตั้งเครื่องทำความร้อนด้วยกราไฟต์ คือการตัดสินใจลงทุนเพื่อให้ได้อัตราผลผลิตที่สูงขึ้น ในกระบวนการผลิตที่มีความเสี่ยงสูง ต้นทุนจากการผลิตล็อตเดียวล้มเหลวเนื่องจากความไม่แม่นยำในการให้ความร้อน อาจสูงกว่าการลงทุนครั้งแรกในชิ้นส่วนกราไฟต์คุณภาพสูงหลายเท่า สภาวะแวดล้อมการจัดการความร้อนที่เกิดจากความร่วมมือกันของค่าการนำความร้อนสูง ค่าการแผ่รังสี และความบริสุทธิ์ทางเคมี ทำให้เกิดสภาพแวดล้อมที่เอื้อต่อความแม่นยำในระดับสูงสุด การกำจัด "สัญญาณรบกวน" จากการเปลี่ยนแปลงของปริมาณความร้อนและการปนเปื้อน กราไฟต์จึงช่วยให้ศักยภาพที่แท้จริงของกระบวนการทางเคมีถูกใช้อย่างเต็มที่

การผสานรวมกับระบบควบคุมความแม่นยำสูง

การผลิตที่ทันสมัยพึ่งพาวงจรควบคุม PLC และ PID ที่ซับซ้อนเพื่อรักษาอุณหภูมิภายในเศษส่วนขององศา การใช้ฮีตเตอร์กราไฟต์เป็นคู่ที่สมบูรณ์แบบสำาระบบเหล่านี้ เนื่องด้วยการตอบสนองทางกายภาพต่อการเปลี่ยนแปลงพลังงานที่สามารถทำนายได้อย่างแม่นยำ ความนำความร้อนสูงของกราไฟต์ทำให้ความร้อนถูกส่งผ่านองค์ประกอบอย่างรวดเร็ว ลด "การหน่วงเวลาความร้อน" ที่อาจทำให้ตัวควบคุม PID เกิดการเกินค่าเป้าหมายหรือการสั่นไม่เสถียร การตอบสนองที่รวดเร็วและสามารถทำนายได้อย่างแม่นยำนี้คือสิ่งที่จำเป็นเพื่ารักษาค่าความคลาดที่เข้มงวด ตามที่ต้องการในอุตสาหกรรมการผลิตชิ้นส่วนการบินและอิเล็กทรอนิกส์ยุคใหมนี้ เมื่อฮีตเตอร์ตอบสนองอย่างแม่นยำตามที่ตัวควบคุมคาดหวัง ทั้งระบบจะทำงานในสภาวะความเสถียรที่กลมกลืน

การปรับแต่งตามข้อกำหนดของกระบวนการเฉพาะ

ไม่มีกระบวนการอุตสาหกรรมใดสองกระบวนการที่เหมือนกันเป๊ะๆ และความยืดหยุ่นของกราไฟต์ช่วยให้สามารถปรับแต่งได้ในระดับหนึ่ง ซึ่งส่งผลโดยตรงต่อความแม่นยำ ไม่ว่าจะเป็นฮีตเตอร์แบบซิกแซกสำหรับการให้ความร้อนแก่ก๊าซอย่างสม่ำเสมอ หรือฮีตเตอร์กราไฟต์แบบหลายโซนสำหรับควบคุมเกรเดียนต์ที่ซับซ้อน วัสดุนี้สามารถปรับให้เหมาะสมกับลักษณะทางฟิสิกส์เฉพาะของงานประยุกต์นั้นๆ แนวทางเฉพาะตัวนี้หมายความว่า วิศวกรไม่จำเป็นต้อง "ยอมรับ" ฮีตเตอร์มาตรฐานที่อาจสร้างโซนความร้อนไม่สม่ำเสมอ อีกต่อไป แต่พวกเขาสามารถออกแบบระบบให้ความร้อนที่สอดคล้องกับข้อกำหนดเฉพาะของกระบวนการได้อย่างแม่นยำ ทำให้มั่นใจได้ว่าทุกตารางเซนติเมตรของชิ้นงานจะได้รับการจัดการด้วยความละเอียดเท่ากัน ระดับของการปรับแต่งนี้เองที่ทำให้การผลิตทั่วไปแตกต่างจากการวิศวกรรมความแม่นยำระดับโลก

คำถามที่พบบ่อย

ความต้านทานไฟฟ้าของฮีตเตอร์กราไฟต์เปลี่ยนแปลงอย่างมีนัยสำคัญตามเวลาที่ใช้งานหรือไม่

ไม่ใช่ ข้อดีหลักประการหนึ่งของการใช้เครื่องทำความร้อนแบบกราไฟต์คือความเสถียรทางไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยม ซึ่งแตกต่างจากองค์ประกอบความร้อนแบบโลหะหรือเครื่องทำความร้อนบางชนิดที่ใช้วัสดุเซรามิก ที่จะ "เสื่อมสภาพ" และมีค่าความต้านทานเพิ่มขึ้นอย่างมากเมื่อเวลาผ่านไป กราไฟต์สามารถรักษารูปแบบความต้านทานที่คงที่มาก สิ่งนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อความแม่นยำของกระบวนการ เนื่องจากช่วยให้แหล่งจ่ายไฟสามารถส่งพลังงานได้อย่างสม่ำเสมอ โดยไม่จำเป็นต้องปรับเทียบใหม่บ่อยครั้ง หรือใช้กลไกชดเชยที่ซับซ้อน ตราบใดที่เครื่องทำความร้อนถูกใช้งานภายในพารามิเตอร์การออกแบบและได้รับการป้องกันจากการเกิดออกซิเดชัน ลักษณะทางไฟฟ้าของมันจะยังคงมีความเสถียร ซึ่งช่วยให้ได้ผลลัพธ์ที่สามารถทำซ้ำได้อย่างต่อเนื่องในระยะยาวในการผลิต

เครื่องทำความร้อนแบบกราไฟต์จัดการกับสภาวะสุญญากาศได้ดีเพียงใดเมื่อเปรียบเทียบกับวัสดุอื่นๆ

เครื่องทำความร้อนแบบกราไฟต์มีความเหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับสภาพแวดล้อมสุญญากาศ เนื่องจากไม่เกิดความเปราะหรือการเสื่อมสภาพของพื้นผิวที่พบได้บ่อยในโลหะหลายชนิดเมื่อใช้งานที่อุณหภูมิสูงในสภาวะสุญญากาศ ในสภาวะดังกล่าว การถ่ายโอนความร้อนจะขึ้นอยู่กับการแผ่รังสีเกือบทั้งหมด เนื่องจากกราไฟต์มีค่าการปล่อยรังสีสูงและคงที่ จึงทำให้เป็นแหล่งความร้อนแบบแผ่รังสีที่เชื่อถือได้มาก นอกจากนี้ กราไฟต์ยังมีแรงดันไอต่ำ หมายความว่าจะไม่เกิดการระเหิดหรือการปล่อยก๊าซออกมาอย่างมีนัยสำคัญที่อุณหภูมิสูง ซึ่งช่วยรักษาความสมบูรณ์ของสุญญากาศและป้องกันการปนเปื้อนภายในห้องปฏิบัติการ ทำให้เป็นทางเลือกที่เหนือกว่าสำหรับกระบวนการผลิตที่ใช้สุญญากาศ เช่น การเติบโตของแท่งซิลิคอนหรือการบัดกรีพิเศษ

จำเป็นต้องใช้ชั้นเคลือบป้องกันบนเครื่องทำความร้อนแบบกราไฟต์หรือไม่

แม้ว่ากราไฟต์จะมีความทนทานตามธรรมชาติ แต่การใช้งานที่ต้องการความแม่นยำสูงหลายประเภทก็ได้รับประโยชน์จากการเคลือบป้องกัน เช่น ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) หรือพิโรไลติกคาร์บอน การเคลือบเหล่านี้มีจุดประสงค์หลายประการ ได้แก่ ป้องกันไม่ให้อนุภาคกราไฟต์ขนาดเล็กหลุดร่วง สร้างชั้นกันเพิ่มเติมจากปฏิกิริยาการกัดกร่อนของสารเคมี และยังสามารถช่วยเสริมสมรรถนะด้านความร้อนของเครื่องทำความร้อนได้อีกด้วย ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์หรือกระบวนการโลหะวิทยาที่ต้องการความบริสุทธิ์สูง เครื่องทำความร้อนกราไฟต์ที่มีการเคลือบมักเป็นมาตรฐาน เพราะช่วยให้มั่นใจได้ว่าจะไม่มีสิ่งเจือปนใดๆ ปนเข้าไปในสภาพแวดล้อมที่ไวต่อสิ่งแปลกปลอม การเลือกชนิดของการเคลือบขึ้นอยู่กับก๊าซที่ใช้ในกระบวนการเฉพาะนั้นๆ และอุณหภูมิสูงสุดที่ใช้งานได้

สามารถใช้เครื่องทำความร้อนกราไฟต์ในสภาพแวดล้อมที่มีออกซิเจนมากได้หรือไม่

กราไฟต์จะเริ่มเกิดการออกซิเดชันหากสัมผาศอกซิเจนที่อุณหภูมิสูงกว่าประมาณ 400°C ถึง 450°C ดังเหตุนั้น ในกระบวนการที่ต้องการบรรยากาศที่มีปริมาณออกซิเจนสูง เครื่องทำความร้อนที่ทำจากกราไฟต์จำเป็นต้องได้รับการป้องด้วยชั้นเคลือบที่ทนทานและไม่ซึมผ่าน หรือต้องใช้ในลักษณะที่ทำให้กราไฟต์ไม่สัมผัสกับออกซิเจน โดยส่วนใหญ่ในงานอุตสาหกรรมที่เลือกใช้กราไฟต์เป็นวัสดัหลัก กระบวนการจะดำเนินในสภาพสุญญากาศหรือภายใต้ชั้นป้องกันก๊าซเฉื่อย (เช่น อาร์กอน หรือ ไนโตรเจน) เพื่อป้องกันการออกซิเดชัน หากกระบวนการของคุณต้องการอุณหภูมิสูงในอากาศ อาจจำเป็นต้องใช้วัสด้อื่นที่เหมาะสม หรือต้องใช้การออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบพิเศษที่มีการปิดผนึกอย่างแน่นหนา